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实时压力和温度补偿可优化流量控制

来源: 作者: 发布日期:2020-06-02 17:27:44

         工艺的效率和产量需要稳定的气流。该气流可以通过热质量流量控制器进行测量和控制。作为Bronkhorst High-Tech的产品经理,我体验到各种外部因素都会影响质量流量控制器(MFC)的测量精度和控制稳定性。

外部因素的一些示例是:
     温度波动
     管路压力波动
        这些波动可能是由于气瓶中的压力降低或由于多个流量控制器之间的串扰引起的。Bronkhorst如何解决这些问题,我们提供哪些解决方案?
实时压力和温度补偿可优化流量控制
与质量流量控制器的串扰
        什么是串扰?当多个质量流量控制器紧靠同一管道放置或安装在同一导轨或框架上时,通常会发生串扰。来自气体调节器的管路压力受流量控制器的流量需求的影响。当流量仪表更改其设定值时,它将影响管路压力。由于这种压力变化,会影响常规流量控制器中的流量测量部分,从而指示不正确的流量测量结果,该流量测量结果并不代表通过MFC的实际流量。
 
        流量控制器的标称流量越小,对较大的,并行安装的MFC的设定值变化的影响越大。
 
 
静态和动态压力补偿
        静压补偿是对缓慢的压力变化(例如来自气瓶的缓慢降低的压力)的补偿。通过将压力变送器与质量流量控制器集成在一起,以及车载转换算法,可以对实际流体特性进行实时计算。对于半热量测量,在计算中使用密度,粘度,导热系数和热容量。在压力和温度的影响下,这些特性会发生变化。因此,可以测量和处理实际温度和压力,从而实现精确的流量测量和控制稳定性。
动态补偿,对压力变化不敏感
 
        动态压力补偿是对快速压力变化的补偿。当同一供应管线上的高流量质量流量控制器更改设定值时,可能会发生这种情况,这是不希望的效果,也称为“串扰”。一旦压力传感器识别出这些快速的压力变化,就将相应地调节阀门控制,以使流量保持稳定。
 
通过板载转换实现稳定的流量控制
        车载转换算法可将存储的校准液转换为100种车载气体*(多流体多量程功能)之一。
机载转换模型中使用实际测得的温度和压力来补偿工艺条件的变化。这导致更可靠,更准确的转换和控制稳定性。
包含“压力不敏感”的质量龙8的设置更加简单
 
给用户带来的好处
        首先,由于改善了流量测量和控制的准确性,因此可以优化和更稳定地处理过程,从而提高了过程良率。
        其次,安装简便,因为不需要精确地提供/满足仪器订购的过程条件。
        第三,由于所供应的管路压力对于仪器的精度和控制稳定性而言不再那么重要,因此需要精度较低的零件或什至减少供应管路中的零件。这样可以节省例如压力调节器的成本。
 

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